主要功能：本设备规格书为，为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,采用碱与醇的混合溶液对单晶硅片的各项异性腐蚀在表面形成类似“金字塔”状的绒面,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。此方案是为了能更好的实现硅片表面绒面，增加其转换效率而设计。 设备形式：室内放置型。 设备尺寸（参考）：L10000mm（长）*W1950mm（宽）*D1800mm（高）。 设备系列型号：MK-SC-DJPV-M01。 被清洗硅片尺寸：125×125×0.20mm / 156×156×0.20mm 额定功率：150kw 。 2.1 主要技术参数： （由于技术的不断更新，以下方案允许做以提高设备性能的技术调整） 序号 工序名称 辅助 处理液 时间 温度 材质 盖 循环 抽风 1 碱制程槽 循环 加热 鼓泡 计时 碱液 乙醇 25min 60-90℃ NPP 有 有 有 2. 碱制程槽 循环 加热 鼓泡 计时 碱液 乙醇 25min 60-90℃ NPP 有 有 有 3 碱制程槽 循环 加热 鼓泡 计时 碱液 乙醇 25min 60-90℃ NPP 有 有 有 4 碱制程槽 循环 加热 鼓泡 计时 碱液 乙醇 25min 60-90℃ NPP 有 有 有 5 水清洗槽 溢流 鼓泡 DIW 1min RT NPP 无 无 无 6 水清洗槽 溢流 鼓泡 DIW 1min RT NPP 无 无 无 7 酸洗槽 浸泡腐蚀 HF HCL 4min RT NPP 有 无 有 8 阶梯溢流槽 溢流 鼓泡 计时 DIW 3min 60-90℃ NPP 有 有 有 9 慢提拉脱水槽 硅片脱水 DIW 4min 60℃ NPP 无 无 有 10 出料台面 / / / RT NPP 无 无 有 2.2 设备工作条件：（具体实际条件按照客户提供为准） 序号 种类 规格 材质 方式 1 电源 380V 三相 50Hz 125KW 2 高压空气 0.6MPa，一般为6m3/h，较大流量230L/min，进气口径 ≥φ10mm。 TPU软管 内螺纹 4 HF接口 英制1/2”，流量≥2.5 m3/h。 PFA 扩口接头 5 HCL接口 英制1/2”，流量≥2.5m3/h。 PFA 扩口接头 6 NaOH接口 英制1/2”，流量≥2.5m3/h。 PFA 扩口接头 7 排 风 量 1500 m3/h，2*DN250。 PP材质 法兰 8 废酸排放 9 m3/h，英制D1”*1 NPP FNPT内螺纹接口 9 废水排放 11 m3/h，英制D2”*3 或DN40（外径50mm） PP 活接